958
線上交談會(huì)仍在繼續(xù)。
這次輪到了清大副校長(zhǎng)，科學(xué)院院士黎朔教授。
“終于到我了，我只問(wèn)江南同學(xué)一個(gè)有關(guān)光源的小問(wèn)題。”
黎朔教授緩緩開口，問(wèn)了一個(gè)與他本專業(yè)有關(guān)的問(wèn)題。
“眾所周知，極紫外光刻需要功率極高、穩(wěn)定性極佳的13.5納米波長(zhǎng)的等離子體光源。現(xiàn)在國(guó)際主流是采用高功率二氧化碳激光轟擊錫滴靶材產(chǎn)生等離子體，但其中涉及到了復(fù)雜的激光靶材相互作用、等離子體調(diào)控和碎片管理難題，轉(zhuǎn)化效率和穩(wěn)定性是公認(rèn)的世界級(jí)瓶頸。”
涉及專業(yè)問(wèn)題，黎朔教授語(yǔ)氣嚴(yán)肅。
“既然光刻機(jī)從頭到尾是西北研究所獨(dú)立研發(fā)，那大家是如何解決這個(gè)關(guān)鍵問(wèn)題的？以及我很好奇，在提升光源功率和延長(zhǎng)光鏡壽命方面，你個(gè)人認(rèn)為團(tuán)隊(duì)最大的創(chuàng)新點(diǎn)是什么？”
雖然觀眾并不明白這些專業(yè)名詞指代得到底是什么問(wèn)題。但從黎朔教授嚴(yán)肅的語(yǔ)氣就能感受到這個(gè)問(wèn)題的分量和嚴(yán)重性。
而江南，這次他回答得更快更從容。
“傳統(tǒng)錫滴靶材路線面臨效率、穩(wěn)定性和污染三大挑戰(zhàn)。我們最初也嘗試過(guò)深入優(yōu)化這一路徑，但發(fā)現(xiàn)受限于基礎(chǔ)物理機(jī)制和材料特性，短時(shí)間內(nèi)難以取得突破性進(jìn)展，而且很容易陷入專利糾紛。”
“因此，就像之前在直播中所說(shuō)，我們選擇了一條更具挑戰(zhàn)性，但也更徹底的路徑。那就是雙脈沖協(xié)同激發(fā)磁約束等離子體光源。”
“簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是放棄了單一的錫滴靶材，轉(zhuǎn)而采用特殊合金薄膜作為靶材。首先用一束超短超強(qiáng)激光脈沖轟擊靶材，將其氣化成特定狀態(tài)的前體等離子體團(tuán)。緊接著在最佳時(shí)機(jī)，第二束主激光脈沖精確作用于這個(gè)前體等離子體團(tuán)，進(jìn)行二次激發(fā)和約束。”
“至于收集鏡壽命，除了在收集鏡表面使用我們自主研發(fā)的、耐等離子體轟擊和自修復(fù)能力更強(qiáng)的多層膜材料外，更重要的是我們通過(guò)精密反饋系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體狀態(tài)，能夠確保產(chǎn)生的等離子體‘更干凈’，從源頭上減少對(duì)收集鏡的損傷。目前，我們光源的功率穩(wěn)定在350瓦以上，收集鏡的維護(hù)周期遠(yuǎn)超傳統(tǒng)路線。”
一串串精準(zhǔn)的參數(shù)，一個(gè)個(gè)聞所未聞卻又邏輯嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)名詞從江南口中源源不斷吐出。他好像根本不需要思考，又或者這些東西就像血液一樣早就根植于江南的身體中。
旁邊的直播彈幕中全是“大神我聽不懂”、“太專業(yè)了有沒有大佬翻譯”、“媽媽這不是我該來(lái)的地方”等等感嘆哀嚎。
而華國(guó)之前發(fā)言過(guò)得兩位教授，以及現(xiàn)場(chǎng)的諸多實(shí)驗(yàn)室同仁，有的明顯心潮澎湃呼吸粗重，有的則陷入沉思甚至現(xiàn)場(chǎng)就開始拿筆記記錄，顯然受到了極大啟發(fā)——
而交談會(huì)上，黎朔教授聽完后沉思了幾秒，話筒中傳來(lái)嘆服至極得鼓掌聲。
“你啊……你遠(yuǎn)遠(yuǎn)比我想象得更加優(yōu)秀，這完全是超越時(shí)代的科研成就。我算是明白了，光刻機(jī)在華國(guó)面世其實(shí)是必然!”
隨后，黎朔話鋒一轉(zhuǎn)，如親切得長(zhǎng)輩般笑著開口。
“聊了這么久，技術(shù)層面的問(wèn)題我看今天就先到這里吧……你是看不見，我旁邊的兩位教授已經(jīng)在奮筆疾書了，恐怕再問(wèn)下去，他們立刻就得坐不住直奔光刻機(jī)實(shí)驗(yàn)室把你綁過(guò)來(lái)……”
這幽默夸張的話引得華國(guó)代表團(tuán)一陣輕笑，西北實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)場(chǎng)也一陣善意的笑聲。
至于直播彈幕，上面已經(jīng)滿屏“哈哈哈”表情包了。
“黎教授好可愛哈哈哈哈哈，居然還會(huì)開玩笑的嗎。”
“奮筆疾書？原來(lái)不止我們這些學(xué)生聽不懂需要錄屏錄音，頂尖大牛們也要現(xiàn)場(chǎng)記錄啊，突然覺得我離他們也很近嘛。”
“前面的別想了，你那是幻覺。你記錄是壓根聽不懂，人家教授是啟發(fā)出了新想法，這可不一樣哈。”
“沒所謂，就剛才那一刻，我宣布我跟兩位清大教授共情了：死手快記啊，趕緊把江南透露的精華全記下來(lái)!”
“原來(lái)這就是清大教授們啊，居然這么可愛，他們看江南不就是長(zhǎng)老看待宗門天驕嗎，”
“沒那么冷漠，江南比這個(gè)程度還珍貴。”
“非得說(shuō)的話，我覺得像老祖重生哈哈哈哈……”
“那可是江南啊，是以一己之力扛起華國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的狠人，倆教授這么喜歡他是必然的，要我我也喜歡!”
直播鏡頭中，黎朔副校長(zhǎng)自然得提及另一個(gè)問(wèn)題，語(yǔ)氣親切得像是聊家常。
“趁這個(gè)機(jī)會(huì)，我忽然想問(wèn)一個(gè)不那么專業(yè)但想必大家都很感興趣的問(wèn)題。”
“我們都知道每一個(gè)超出時(shí)代的研究或者發(fā)明，突破瓶頸時(shí)其實(shí)都需要天才的靈光一閃和大眾難以想象的艱苦耕耘。我私下也向西北研究所的幾個(gè)老朋友了解了。他們告訴我光刻機(jī)后期超過(guò)百分之五十的關(guān)鍵進(jìn)展和難題破解，核心思路幾乎全部由你提供——所以江南同學(xué)，你那些石破天驚得想法到底怎么來(lái)的，你能跟大家分享的經(jīng)驗(yàn)是什么呢？”